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| Bild- und Signalverarbeitung /3D-Oberflächeninspektion | Durch die ständig wachsenden Forderungen aus der Mikrosystemtechnik und der Halbleiterindustrie nach zerstörungsfreier, hochpräziser, „großflächiger“ und schneller Messung von Rauheiten, topologischen Parametern und 3D-Topographien wurde in den letzten Jahren insbesondere die Entwicklung der optischen Messverfahren vorangetrieben. Als besonders leistungsfähigen Ansatz für die hochpräzise, flächenhafte Oberflächenmessung ist die Weißlichtinterferometrie herauszustellen. Hierbei werden Messgenauigkeiten im Nanometerbereich erreicht, wobei die Messzeiten in der Regel unter einer Minute liegen.
Im FG Graphische Datenverarbeitung wurden, gefördert vom Thüringer Kultusministerium, die Grundlagen zur Weißlichtinterfe-rometrie untersucht. Es wurde ein neuer Auswertungsalgorithmus entwickelt. Dieser basiert auf dem Ansatz der Korrelation im Frequenzbereich und ist dadurch sowohl robust als auch recheneffizient. An optisch glatten Oberflächen kann die Genauigkeit durch die Einbeziehung von Phaseninformationen gesteigert werden. Die Forschungsergebnisse werden an einem portablen 3D-Oberflächenmessgerät demonstriert.
Darüber hinaus werden weitere innovative Forschungsprojekte zur Bildverarbeitung, Bildanalyse und Mustererkennung vorgestellt. Dazu gehören Themen wie 3D-Stereobildauswertung, neuartige Bildverarbeitungsmechanismen für ein modulares Infrarot-, NIR- und VIS-System sowie ein Softwaremodul zum Rapid Prototyping von Bildverarbeitungsanwendungen.
| | Zum Internetauftritt hier klicken! ... | PD Dr.-Ing. habil. Karl-Heinz Franke 
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Fachgebiet Grafische Datenverarbeitung
Gustav-Kirchhoff-Str. 5
98693 Ilmenau
Telefon: 03677 / 2010 300
Fax: 03677 / 2010302 | Machleidt, Dipl.-Ing. Torsten
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2010
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Hannover Messe 2010
